Voor mijn werk hebben we machines welke onder vacuum staan. Hier worden dunne laagjes metaal aangebracht bijvoorbeeld.
Typische absolute drukken in de process kamers zijn bijvoorbeeld: 10E-7 [mBar] dat is 0.0000000001 [Bar]
In sommige gevallen bij voornamelijk loadlocks dient men van atmosfeer naar hoog vacuum af te pompen. Loadlocks: kamer met twee deuren waar producten, een ter beladen en andere voor het transport naar hoog vacuum process kamer. Via pV=NkT kan je het netto aantal deeltjes bepalen in bijvoorbeeld de process kamer.
Het initieel afpompen van zo een loadlock gebeurt met voorpompen tot een 10E-2 [mBar]. Echter er bestaan geen drukmeters die van 1 [Bar] tot 10E-7 [mBar] millibar kunnen meten. Voor diep vacuum zijn bijvoorbeeld Bayard-Alpert druk meters
. Om hoog vacuum te reiken heeft men turbo of cryo pompen nodig (
1 en
2).
Sommige druk meters zijn afhankelijk van de (buiten)luchtdruk buiten zoals diafragma druk meters
1 (deze zie je vaak bij loadlocks of
gasleidingen). Afhankelijk van de toepassing kan men bij deze meter 1 [bar] atmosfeer 0 [bar] noemen en vacuum is dan -1 [bar] (meestal zijn dit onnauwkeurige druk meters). Het is een kwestie waar de nul te leggen net als graden Kelvin en Celcius.