Is je vraag hoe ze 60 nm groeven maken in een photoresist substraat?
Door een focus Ion of electron straal bijvoorbeeld, of hoog ultra violette stralen @ 13.5 nm. Daarbij zijn er nog een aantal trukjes om met een grote golflengtes kleiner dan golflengte groeven te maken.
Het laagje fotoresist krijg je weg door het weg te spoelen. Dat wat belicht is "cross-linked" en wordt een vaste materie, dat wat niet belicht wordt blijft dus een vloeistof en kan worden weggespoeld d.m.v een niet reactieve vloeistof.
The average line width of the array of nanowires measured 60 nanometers, and the average line width in the word NANO was about 40 nanometers. The objects, embedded onto a layer of chrome, were placed before the superlens, which was a layer of silver that was about 35 nanometers thick. The researchers recorded the image onto a photoresist, a polymer coating on the other side of the superlens that becomes insoluble when exposed to UV light.